● 적외선흡수분광법(Infrared Spectroscopy)
Ⅰ. IR(Infrared)
1. IR 흡수 분광법이란...
시료에 적외선을 비추어서 쌍극자 모멘트가 변화하는 분자 골격의 진동과 회전에 대응하는 에너지의 흡수를 측정하는 분석법을 말한다.
2. 적외선 스펙트럼 영역
IR 분석에서 가장 많이 이용
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
1. 이 론
분자의 진동 및 분자의 회전은 전자기스펙트럼의 적외선 영역의 빛을 흡수하여 일어나는데 이 빛은 따뜻하게 느껴지기 때문에 열선이라고도 불린다. 적외선의 파장영역에서는 분자내 원자의 진동으로부터 분자 전체의 회전에 의한 흡수스펙트럼이 나타나는데 이와 같이 특정한 작용기의
Infrared Absorption Spectroscopy
□실험목적
여러 개의 작용기를 가진 미지 시료를 Infrared Absorption Spectroscopy를 이용하여 정성분석을 할 수 있다.
□이론
※Vibration of Molecule
■Dipole change during vibrations and rotation
적외선은 자외선 가시선에서 거론된 전자전이를 일으킬 정도로 충분한 큰
Infrared absorption spectrum of a thin polystyrene film recorded with a modern IR spectrophotometer.
IR-spectra는 분자의 진동에 기인하며, 나타나는 peak는 조화진동에 의한 normal band, 비조화 진동에 의한 overtone band 그리고 인접원자단에 의한 combination band 등 다양한 peak이 관찰된다.
기본진동에는 Fig. 2에 나타낸 바와 같이